武汉芯丰精密科技有限公司万先进获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉芯丰精密科技有限公司申请的专利切割组件及切割装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223630645U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423155392.7,技术领域涉及:B28D1/24;该实用新型切割组件及切割装置是由万先进;肖儒良;朱松;谢亚楠;锁志勇;向毅;边逸军设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本切割组件及切割装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于晶圆加工技术领域,公开了切割组件及切割装置。该切割组件包括固定件、安装件、支架、第一调节组件、主轴、刀片和第二调节组件,固定件用于连接外部支撑件,安装件沿第一方向滑动设置于固定件,支架连接于安装件,主轴通过第一调节组件安装于支架,刀片安装于主轴的端部,用于切割晶圆,第一调节组件用于调节刀片和晶圆之间的平行度,第二调节组件安装于安装件,能够调节刀片和晶圆之间的垂直度。这种切割组件的刀片与晶圆的平行度和垂直度单独进行调节,避免调节过程中的相互影响,进而确保刀片的位置精度,进而确保晶圆的加工精度,提升产品品质。
本实用新型切割组件及切割装置在权利要求书中公布了:1.切割组件,其特征在于,所述切割组件1包括: 固定件10,所述固定件10用于连接外部支撑件; 安装件20,所述安装件20沿第一方向滑动设置于所述固定件10; 支架30,所述支架30连接于所述安装件20; 主轴40、第一调节组件和刀片41,所述第一调节组件连接于所述主轴40和所述支架30之间,所述刀片41安装于所述主轴40的端部,用于切割晶圆,所述第一调节组件能够使得所述主轴40绕所述第一方向转动,进而调节所述刀片41和所述晶圆之间的平行度; 第二调节组件,所述第二调节组件安装于所述安装件20,所述第二调节组件能够使得所述支架30绕第二方向转动,进而调节所述刀片41刀片和晶圆之间的垂直度,其中,所述第二方向与所述第一方向垂直。
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