山东有研艾斯半导体材料有限公司张荣彬获国家专利权
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龙图腾网获悉山东有研艾斯半导体材料有限公司申请的专利一种用于拆卸晶圆单面抛光机边导轮轴承的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223630295U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422729757.6，技术领域涉及：B25B27/02；该实用新型一种用于拆卸晶圆单面抛光机边导轮轴承的装置是由张荣彬;陈信;程怀璋;蒙德强;于兴瑞;潘世林;王占滨;梁鹏飞设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于拆卸晶圆单面抛光机边导轮轴承的装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于拆卸晶圆单面抛光机边导轮轴承的装置。该装置包括两个间隔设置的立板，两个立板顶部固定连接有一固定板，固定板的中心部位设有贯穿固定板的螺纹孔；在固定板下方设有中心部位开设有圆形开孔的分离压板；在固定板的螺纹孔内设有长内六角螺栓；拆卸边缘导轮轴承时，将边缘导轮固定于分离压板下方，边导轮的轴承和轴完全暴露于分离压板的圆形开孔，顺时针旋转长内六角螺栓时，其下端穿过分离压板的圆形开孔并拧入边导轮轴的螺纹孔，逆时针旋转长内六角螺栓时，带动边导轮的轴和轴承向上移动，从而将边导轮轴承拆下。本实用新型结构简单，操作方便，能够减少边导轮轴承及轴承座的机械损伤，缩短设备维修时间。
本实用新型一种用于拆卸晶圆单面抛光机边导轮轴承的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于拆卸晶圆单面抛光机边导轮轴承的装置，其特征在于，该装置包括两个间隔设置的立板，两个立板顶部固定连接有一固定板，固定板的中心部位设有贯穿固定板的螺纹孔； 在固定板下方设有分离压板，分离压板的中心部位设有圆形开孔； 在固定板的螺纹孔内设有长内六角螺栓； 拆卸边缘导轮轴承时，将边缘导轮固定于分离压板下方，分离压板按压边导轮的轴套上部边缘，边导轮的轴承和轴完全暴露于分离压板的圆形开孔，顺时针旋转长内六角螺栓时，其下端穿过分离压板的圆形开孔并拧入边导轮轴的螺纹孔，逆时针旋转长内六角螺栓时，带动边导轮的轴和轴承向上移动，从而将边导轮轴承拆下。
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