拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司支晨硕获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种定位工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223630223U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423155375.3，技术领域涉及：B25B11/00；该实用新型一种定位工装是由支晨硕设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种定位工装在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种定位工装，用于对反应腔中的环形工件与反应腔同轴；包括固定单元、第一移动单元以及第二移动单元，固定单元设置在反应腔的开口处，第一移动单元穿过固定单元，第二移动单元与第一移动单元连接；第一移动单元能够带动第二移动单元沿轴向移动，第二移动单元能够沿径向移动。使用时，将环形工件置于反应腔内后，将固定单元放置在反应腔的开口处，之后第一移动单元在竖直方向上移动，使得与之连接的第二移动单元的底端刚好与环形工件等高，之后第二移动单元沿径向移动，同时推动环形工件使其与反应腔同轴。进而解决人工将环形工件放置在反应腔中后，因无法进行同轴度的定位而导致反应腔内的气流场和射频场受到影响的技术问题。
本实用新型一种定位工装在权利要求书中公布了：1.一种定位工装，其特征在于，所述定位工装用于对反应腔中的环形工件进行定位，使所述环形工件与反应腔同轴；所述定位工装包括固定单元、第一移动单元以及第二移动单元，所述固定单元设置在所述反应腔的开口处，所述第一移动单元穿过所述固定单元，所述第二移动单元与所述第一移动单元连接；所述第一移动单元能够带动所述第二移动单元沿轴向移动以实现对所述反应腔内不同高度的定位，所述第二移动单元能够沿径向移动以实现对该高度的所述环形工件的定位。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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