重庆芯联微电子有限公司罗超获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利研磨头保持环、研磨组件以及研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223630148U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422983093.6，技术领域涉及：B24B37/32；该实用新型研磨头保持环、研磨组件以及研磨设备是由罗超;刘怡良设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨头保持环、研磨组件以及研磨设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种研磨头保持环、研磨组件以及研磨设备，研磨头保持环包括：环体、测量装置以及多个挡水片；环体上具有多个凹槽，任一凹槽中可拆卸地设置有多个挡水片，挡水片与凹槽的开口之间形成供研磨液流通的供液槽；测量装置靠近凹槽设置，用于测量供液槽的深度；基于测量装置测得的供液槽的实时深度，部分挡水片能够在凹槽产生磨损后被拆除，以保持供液槽的深度。如此配置，通过加深现有技术中的凹槽深度，并在加深后的凹槽内部增设可拆卸的挡水片，以使得研磨液能够在挡水片与凹槽的开口之间流通，而在凹槽出现磨损后，能够通过拆除挡水片的方式，增加供液槽的深度，减少对研磨液流场的影响，降低调整研磨参数的频率，提升生产效率。
本实用新型研磨头保持环、研磨组件以及研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种研磨头保持环，其特征在于，包括：套设于研磨头上的环体、测量装置以及多个挡水片； 所述环体上具有多个沿自身周向设置的凹槽，任一所述凹槽中可拆卸地设置有多个所述挡水片，所述挡水片与所述凹槽的开口之间形成供研磨液流通的供液槽； 所述测量装置靠近所述凹槽设置，用于测量所述供液槽的深度； 基于所述测量装置测得的所述供液槽的实时深度，部分所述挡水片能够在所述凹槽产生磨损后被拆除，以保持所述供液槽的深度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆芯联微电子有限公司，其通讯地址为：401332 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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