苏州首镭激光科技有限公司张晓峰获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州首镭激光科技有限公司申请的专利一种晶圆激光切割清洁机构及设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223629676U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422886249.9,技术领域涉及:B23K26/16;该实用新型一种晶圆激光切割清洁机构及设备是由张晓峰;胡秋立设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆激光切割清洁机构及设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种的晶圆激光切割清洁机构,包括机台和设置在机台上的环形载盘、运动平台、清洗摆臂和挡罩,所述环形载盘通过所述运动平台活动的设置在所述挡罩内,所述清洗摆臂架设在所述挡罩的外围,所述环形载盘沿半径分布设有多个支撑杆,在所述支撑杆上设置有多个吸附组件,每个所述吸附组件包括立柱和分设于立柱顶部两侧的吸嘴和定位块。该机构可以有效提高生产效率,降低不良率,节约成本,且灵活兼容多种尺寸产品。
本实用新型一种晶圆激光切割清洁机构及设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆激光切割清洁机构,其特征在于:包括机台和设置在机台上的环形载盘、运动平台、清洗摆臂和挡罩,所述环形载盘通过所述运动平台活动的设置在所述挡罩内,所述清洗摆臂架设在所述挡罩的外围,所述环形载盘沿半径分布设有多个支撑杆,在所述支撑杆上设置有多个吸附组件,每个所述吸附组件包括立柱和分设于立柱顶部两侧的吸嘴和定位块。
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