靖江佳晟真空技术有限公司邵佳获国家专利权
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龙图腾网获悉靖江佳晟真空技术有限公司申请的专利一种半导体零件脱脂清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223629152U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520232738.4，技术领域涉及：B08B3/12；该实用新型一种半导体零件脱脂清洗设备是由邵佳;李欢设计研发完成，并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体零件脱脂清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体零件脱脂清洗设备，包括：集液托盘；支撑架，连接在集液托盘内；脱脂槽组件，连接在支撑架上；第一浸泡槽组件，连接在支撑架上，设置在脱脂槽组件的一侧；第二浸泡槽组件，连接在支撑架上，设置在第一浸泡槽组件的一侧；废液收集箱，设置在集液托盘的一侧，与支撑架间隔设置；管路组件，用于向脱脂槽组件、第一浸泡槽组件和第二浸泡槽组件中导入清洗液、浸泡液和气体，且用于将脱脂槽组件、第一浸泡槽组件、第二浸泡槽组件和集液托盘中的废液导入废液收集箱中；以及电器控制系统，用于计时报警，且用于对脱脂槽组件中的清洗液进行电加热，对半导体零件进行超声波清洗；从而克服了清洁度相对较差的技术问题。
本实用新型一种半导体零件脱脂清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体零件脱脂清洗设备，其特征在于，包括： 集液托盘10； 支撑架20，连接在所述集液托盘10内； 至少一脱脂槽组件30，连接在所述支撑架20上； 至少一第一浸泡槽组件40，连接在所述支撑架20上，设置在所述脱脂槽组件30的一侧； 至少一第二浸泡槽组件50，连接在所述支撑架20上，设置在所述第一浸泡槽组件40的一侧； 废液收集箱60，设置在所述集液托盘10的一侧，与所述支撑架20间隔设置； 管路组件70，用于向所述脱脂槽组件30、所述第一浸泡槽组件40和所述第二浸泡槽组件50中导入清洗液、浸泡液和气体，并且用于将所述脱脂槽组件30、所述第一浸泡槽组件40、所述第二浸泡槽组件50和所述集液托盘10中的废液导入所述废液收集箱60中； 以及电器控制系统80，用于计时报警，并且用于对所述脱脂槽组件30中的所述清洗液进行电加热，对所述脱脂槽组件30中的半导体零件进行超声波清洗。
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