深圳鼎晶科技有限公司李修超获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳鼎晶科技有限公司申请的专利一种晶圆涂布设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223628948U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520578982.6，技术领域涉及：B05C15/00；该实用新型一种晶圆涂布设备是由李修超;钱震东;喻泷;余雄设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆涂布设备在说明书摘要公布了：本实用新型实施例提供一种晶圆涂布设备，包括上机架与下机架，所述上机架内部分隔出相互独立的加工区以及安装区，所述加工区内为第一气压区，所述安装区为第二气压，所述上机架外部为第三气压区；所述第一气压区的气压大于所述第二气压区的气压，所述第二气压区的气压大于所述第三气压区的气压；上机架内部的气流流向通风孔，不产生回旋或湍流，且与安装区隔离，保证工作平面晶圆上没有异物附着。
本实用新型一种晶圆涂布设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆涂布设备，其特征在于，包括上机架与下机架，所述上机架内部分隔出相互独立的加工区以及安装区，所述加工区内为第一气压区，所述安装区为第二气压区，所述上机架外部为第三气压区；所述第一气压区的气压大于所述第二气压区的气压，所述第二气压区的气压大于所述第三气压区的气压。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳鼎晶科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市南山区西丽街道西丽社区打石一路深圳国际创新谷六栋A座26楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励