北京京仪自动化装备技术股份有限公司杨春涛获国家专利权
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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利一种半导体废气处理设备的水系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223628350U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423125588.1，技术领域涉及：B01D53/00；该实用新型一种半导体废气处理设备的水系统是由杨春涛;张坤;杨春水设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体废气处理设备的水系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体废气处理技术领域，特别涉及一种半导体废气处理设备的水系统。该系统包括水箱；水箱的底部或侧壁底端设置水箱检测口，水箱检测口通过管路与气管三通的第一个接口连通；氮气容器通过管路，并经过第一阀门、调压阀和第一限流孔与气管三通的第二个接口连通；压力传感器通过管路，并经过第二限流孔与气管三通的第三个接口连通；水箱的出水口通过管路，并经过水泵与用水设备连通。本申请采用了非接触检测的方式，避免了传感器的耐腐蚀性要求；同时，检测管内使用氮气进行吹扫，避免了固态粘稠物的干扰，保证了检测的准确性。
本实用新型一种半导体废气处理设备的水系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体废气处理设备的水系统，其特征在于，包括水箱； 所述水箱的底部或侧壁底端设置水箱检测口，所述水箱检测口通过管路与气管三通的第一个接口连通； 氮气容器通过管路，并经过第一阀门、调压阀和第一限流孔与所述气管三通的第二个接口连通； 压力传感器通过管路，并经过第二限流孔与所述气管三通的第三个接口连通； 所述水箱的出水口通过管路，并经过水泵与用水设备连通。
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