南方科技大学刘召军获国家专利权
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龙图腾网获悉南方科技大学申请的专利一种垂直型GaN二极管的多级结终端结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223600250U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422820598.0,技术领域涉及:H10D8/00;该实用新型一种垂直型GaN二极管的多级结终端结构是由刘召军;张靖扬设计研发完成,并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种垂直型GaN二极管的多级结终端结构在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体领域,公开了一种垂直型GaN二极管的多级结终端结构包括:蓝宝石衬底,在所述蓝宝石衬底上生长有GaN结核层;在所述GaN结核层上生长有硅掺杂的n+‑GaN层,在所述n+‑GaN层上生长有硅掺杂的n‑GaN层,在n‑GaN层生长有镁掺杂的p‑GaN层,在p‑GaN层上生长有镁掺杂的p+‑GaN层;从p+‑GaN层刻蚀至n+‑GaN层,并在n+‑GaN层表面制备负极;从p+‑GaN层刻蚀至p‑GaN层,形成连续的多级台阶,并在所述p+‑GaN层表面制备正极;本实用新型在引入多级台阶结终端结构后,电场集聚现象得到了明显缓解,这表明结终端结构有效降低了内部的电场峰值。
本实用新型一种垂直型GaN二极管的多级结终端结构在权利要求书中公布了:1.一种垂直型GaN二极管的多级结终端结构,其特征在于,包括:蓝宝石衬底,在所述蓝宝石衬底上生长有GaN结核层;在所述GaN结核层上生长有硅掺杂的n+-GaN层,在所述n+-GaN层上生长有硅掺杂的n-GaN层,在n-GaN层生长有镁掺杂的p-GaN层,在p-GaN层上生长有镁掺杂的p+-GaN层;从p+-GaN层刻蚀至n+-GaN层,并在n+-GaN层表面设置有负极;从p+-GaN层刻蚀至p-GaN层,形成连续的多级台阶,并在所述p+-GaN层表面设置有正极。
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