晶通(高邮)集成电路有限公司;杭州晶通科技有限公司李爽爽获国家专利权
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龙图腾网获悉晶通(高邮)集成电路有限公司;杭州晶通科技有限公司申请的专利一种带调节功能的等离子体发生器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223600077U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423130499.6，技术领域涉及：H05H1/24；该实用新型一种带调节功能的等离子体发生器是由李爽爽;朱强;王新设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带调节功能的等离子体发生器在说明书摘要公布了：本实用新型属于射频电路控制技术领域，具体为一种带调节功能的等离子体发生器，包括工艺腔，设置在工艺腔外部的外腔体、设置在外腔体内部的防护罩、设置在工艺腔内部的圆晶放置平台、设置在工艺腔底部的分子泵；设置在工艺腔顶部的第一线圈适配器、设置在第一线圈适配器底部的线圈主体；2MHz线圈射频电源，所述2MHz线圈射频电源与第一线圈适配器电性连接；下电极13.56MHz射频电源，所述下电极13.56MHz射频电源一端电性连接下电极匹配器，所述下电极13.56MHz射频电源一端电性连接圆晶放置平台；交互系统，所述交互系统电性连接第一线圈适配器和下电极13.56MHz射频电源；其结构合理，在使用的过程中，能实时监控负载端电容量变化以及快速设定最佳电容的匹配。
本实用新型一种带调节功能的等离子体发生器在权利要求书中公布了：1.一种带调节功能的等离子体发生器，其特征在于，包括： 工艺腔400，设置在工艺腔400外部的外腔体401、设置在外腔体401内部的防护罩402、设置在工艺腔400内部的圆晶放置平台403、设置在工艺腔400底部的分子泵404； 设置在工艺腔400顶部的第一线圈适配器200、设置在第一线圈适配器200底部的线圈主体201； 2MHz线圈射频电源100，所述2MHz线圈射频电源100与第一线圈适配器200电性连接； 下电极13.56MHz射频电源501，所述下电极13.56MHz射频电源501一端电性连接下电极匹配器502，所述下电极13.56MHz射频电源501一端电性连接圆晶放置平台403； 交互系统300，所述交互系统300电性连接第一线圈适配器200和下电极13.56MHz射频电源501。
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