上海隐冠半导体技术有限公司唐艳文获国家专利权
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龙图腾网获悉上海隐冠半导体技术有限公司申请的专利一种顶升运动装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223598708U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423196505.8，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种顶升运动装置是由唐艳文;吴火亮设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种顶升运动装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种顶升运动装置，包括基座、升降驱动部件、直线位移部件、顶片部件和解耦连接件。升降驱动部件的定子安装于基座，动子安装于定子上且可做升降运动。直线位移部件安装于基座，其位移输出方向与动子升降方向平行。顶片部件包括顶盘和设置在顶盘上的多个顶片爪，顶盘位于升降驱动部件上方与动子连接。解耦连接件一端与直线位移部件的输出端连接，另一端与顶盘连接。以动子升降方向为z方向，以绕沿z方向轴线旋转的方向为Rz方向；与z方向垂直的方向为n方向，以绕沿n方向轴线旋转的方向为Rn方向。解耦连接件具有Rz方向柔性和Rn方向柔性。本申请的顶升运动装置能够减少升降过程中对物料的冲击，提高升降稳定性。
本实用新型一种顶升运动装置在权利要求书中公布了：1.一种顶升运动装置，其特征在于，包括： 基座1； 升降驱动部件2，包括定子201和动子202，所述定子201安装于所述基座1，所述动子202安装于所述定子201上且可相对于所述定子201做升降运动； 直线位移部件3，安装于所述基座1，且其位移输出方向与所述动子202升降方向平行； 顶片部件4，包括顶盘41和设置在所述顶盘41上的多个顶片爪42，所述顶盘41位于所述升降驱动部件2上方与所述动子202连接； 解耦连接件5，一端与所述直线位移部件3的位移输出端连接，另一端与所述顶盘41连接； 其中，以所述动子202升降方向为z方向，以绕沿z方向轴线旋转的方向为Rz方向；以与z方向垂直的方向为n方向，以绕沿n方向轴线旋转的方向为Rn方向；其中，所述解耦连接件5具有沿Rz方向运动的柔性和沿Rn方向运动的柔性。
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