瀚积智能科技(上海)有限公司王荣辉获国家专利权
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龙图腾网获悉瀚积智能科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆托盘取放装置及晶圆转运装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223598705U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422723771.5，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆托盘取放装置及晶圆转运装置是由王荣辉设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆托盘取放装置及晶圆转运装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆托盘取放装置及晶圆转运装置，包括旋转机构、升降机构和平移机构；所述升降机构与旋转机构连接，平移机构与升降机构连接，平移机构的移动端连接吸附盘，吸附盘上设置有气孔，气孔与气源连接，气孔产生的负压作用用于吸取托盘；所述旋转机构包括旋转盘、转轴和齿轮驱动装置，升降机构固定在旋转盘的顶部，旋转盘的底部通过转轴与工作台转动连接，齿轮驱动装置与转轴连接；该晶圆托盘取放装置通过将旋转、平移和升降运动进行耦合，实现吸附盘在三维空间的自动移动，实现托盘的自动取放操作，提高托盘的拿取效率，提高晶圆片的良率，降低晶圆片的生成成本。
本实用新型一种晶圆托盘取放装置及晶圆转运装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆托盘取放装置，其特征在于，包括旋转机构、升降机构和平移机构； 所述升降机构与旋转机构连接，平移机构与升降机构连接，平移机构的移动端连接吸附盘，吸附盘上设置有气孔，气孔与气源连接，气孔产生的负压作用用于吸取托盘； 所述旋转机构包括旋转盘、转轴和齿轮驱动装置，升降机构固定在旋转盘的顶部，旋转盘的底部通过转轴与工作台转动连接，齿轮驱动装置与转轴连接。
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