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芜湖义柏载具精密技术有限公司邱摩西获国家专利权

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龙图腾网获悉芜湖义柏载具精密技术有限公司申请的专利一种可防止晶圆下垂的支撑结构及FOUP获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223598704U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422670500.8,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种可防止晶圆下垂的支撑结构及FOUP是由邱摩西;何江波;刘汝拯;杨波;谭文明设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种可防止晶圆下垂的支撑结构及FOUP在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种可防止晶圆下垂的支撑结构及FOUP,其包括主骨架、多个副支架以及多个延伸舌,多个副支架的第一侧分别设置于主骨架的两侧上,多个延伸舌均匀地安装于主骨架上,通过延伸舌接触晶圆底部并支撑晶圆,以防止晶圆出现下垂现象,有效降低生产线上的不良率。

本实用新型一种可防止晶圆下垂的支撑结构及FOUP在权利要求书中公布了:1.一种可防止晶圆下垂的支撑结构,其特征在于,包括: 主骨架100,所述主骨架100的顶端上设有弹性筋102; 多个副支架200,多个所述副支架200的第一侧分别设置于所述主骨架100的两侧上; 多个延伸舌300,多个所述延伸舌300均匀地安装于所述主骨架100上,所述延伸舌300用于接触所述晶圆底部并支撑所述晶圆。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人芜湖义柏载具精密技术有限公司,其通讯地址为:241000 安徽省芜湖市弋江区白马街道九华南路632号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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