华润润安科技(重庆)有限公司;华润微电子控股有限公司任傲傲获国家专利权
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龙图腾网获悉华润润安科技(重庆)有限公司;华润微电子控股有限公司申请的专利一种晶圆印刷设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223598702U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423151138.X，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆印刷设备是由任傲傲;潘效飞;张小东;王冬;范星;李良军;倪世蜂;黄伟;张路滋;晏有维设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆印刷设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆印刷设备，晶圆印刷设备包括晶圆印刷平台和晶圆托盘。晶圆印刷平台包括支撑平台及真空支撑结构，支撑平台具有位于中部的平台开口及位于平台开口外围的平台支撑区域；真空支撑结构具有用于支撑晶圆的支撑顶面，以及贯穿支撑顶面的多个真空吸附孔，多个真空吸附孔用于吸附支撑于支撑顶面的晶圆；晶圆托盘具有位于中部的托盘开口及位于平台开口内并能够用于承托晶圆外围区域的环状承托部，托盘能够放置于晶圆印刷平台上；托盘的托盘开口与平台开口相对，真空支撑结构的至少部分位于平台开口和托盘开口中，在真空支撑结构处于支撑状态时，支撑顶面高于环状承托部中用于承托晶圆的表面或者与环状承托部中用于承托晶圆的表面齐平。
本实用新型一种晶圆印刷设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆印刷设备，其特征在于，包括： 晶圆印刷平台，包括支撑平台及真空支撑结构，所述支撑平台具有位于中部的平台开口及位于所述平台开口外围的平台支撑区域；所述真空支撑结构具有用于支撑晶圆的支撑顶面，以及贯穿所述支撑顶面的多个真空吸附孔，多个所述真空吸附孔用于吸附支撑于所述支撑顶面的晶圆； 晶圆托盘，所述晶圆托盘具有位于中部的托盘开口及位于所述平台开口内并能够用于承托晶圆外围区域的环状承托部； 其中，所述晶圆托盘能够放置于所述晶圆印刷平台上；所述晶圆托盘的托盘开口与所述平台开口相对，所述真空支撑结构的至少部分位于所述平台开口和所述托盘开口中，所述真空支撑结构具有支撑状态，在所述真空支撑结构处于支撑状态时，所述支撑顶面高于所述环状承托部中用于承托晶圆的表面或者与所述环状承托部中用于承托晶圆的表面齐平。
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