上海隐冠半导体技术有限公司张根连获国家专利权
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龙图腾网获悉上海隐冠半导体技术有限公司申请的专利一种运动装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223598696U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422987074.0,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型一种运动装置是由张根连;禹洪亮;吴火亮设计研发完成,并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种运动装置在说明书摘要公布了:本申请属于半导体设备技术领域,提供一种运动装置,包括运动部、承载框体、减振部和失效检测部,待对准的第一待调试件和第二待调试件放置于运动部上,运动部位于承载框体上方,减振部相对的两端分别连接至运动部和承载框体,以使运动部与承载框体间隔设置,失效检测部连接至运动部和或承载框体,用于检测运动部与承载框体之间的间隔距离,当间隔距离过小或过大时,则判定减振部失效,进而能够及时控制运动装置停止工作,避免对待调试件和运动装置做成进一步地损伤,有效提高了运动装置的工作可靠性。
本实用新型一种运动装置在权利要求书中公布了:1.一种运动装置,其特征在于,包括运动部10、承载框体40、减振部20和失效检测部30; 待对准的第一待调试件和第二待调试件放置于所述运动部10上,所述运动部10位于所述承载框体40上方,所述减振部20相对的两端分别连接至所述承载框体40和所述运动部10,以使所述运动部10与所述承载框体40间隔设置,所述失效检测部30连接至所述运动部10和或所述承载框体40,用于监测所述运动部10与所述承载框体40之间的间隔距离。
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