瀚积智能科技(上海)有限公司王荣辉获国家专利权
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龙图腾网获悉瀚积智能科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆和托盘的定位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223598692U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422723765.X，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆和托盘的定位装置是由王荣辉设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆和托盘的定位装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆和托盘的定位装置，包括托盘固定装置、旋转升降装置和定位圈；所述托盘固定装置的表面形成有用于放置石墨托盘的托盘槽；所述旋转升降装置包括升降装置和旋转装置，旋转装置与升降装置连接，旋转装置的旋转轴与定位圈连接，定位圈中形成有用于对晶圆片移动过程导向的导向通道；所述旋转升降装置用于将定位圈移动至托盘槽的顶部并与石墨托盘同轴，晶圆片通过导向通道进入石墨托盘的凹槽中；实现晶圆片与石墨托盘的精准定位，提供晶圆片的生产效率，同时提高晶圆片的电镀效率以及良品率。
本实用新型一种晶圆和托盘的定位装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆和托盘的定位装置，其特征在于，包括托盘固定装置、旋转升降装置和定位圈； 所述托盘固定装置的表面形成有用于放置石墨托盘的托盘槽； 所述旋转升降装置包括升降装置和旋转装置，旋转装置与升降装置连接，旋转装置的旋转轴与定位圈连接，定位圈中形成有用于对晶圆片移动过程导向的导向通道；所述旋转升降装置用于将定位圈移动至托盘槽的顶部并与石墨托盘同轴，晶圆片通过导向通道进入石墨托盘的凹槽中。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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