瀚积智能科技(上海)有限公司王荣辉获国家专利权
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龙图腾网获悉瀚积智能科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆自动换位装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223598691U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422723776.8,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种晶圆自动换位装置是由王荣辉设计研发完成,并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆自动换位装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆自动换位装置,包括换位装置和托盘固定装置;所述换位装置包括升降装置和吸盘,升降装置的滑动部件通过悬臂与吸盘连接,吸盘能够在负压作用下吸取其下部的晶圆片,并使晶圆片悬浮在吸盘的底部;所述托盘固定装置包括基座、托盘槽和定位装置;所述托盘槽设置在基座的顶部,托盘槽的结构与石墨托盘的结构相匹配,定位装置设置在基座上,用于对托盘槽中的石墨托盘定位。该晶圆自动换位装置通过吸盘实现晶圆片的无接触移动,避免晶圆片在转移过程中受到污染,提高晶圆片的良率,降低晶圆片的生成成本。
本实用新型一种晶圆自动换位装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆自动换位装置,其特征在于,包括换位装置和托盘固定装置; 所述换位装置包括升降装置和吸盘,升降装置的滑动部件通过悬臂与吸盘连接,吸盘能够在负压作用下吸取其下部的晶圆片,并使晶圆片悬浮在吸盘的底部; 所述托盘固定装置包括基座、托盘槽和定位装置; 所述托盘槽设置在基座的顶部,托盘槽的结构与石墨托盘的结构相匹配,定位装置设置在基座上,用于对托盘槽中的石墨托盘定位。
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