合肥晶合集成电路股份有限公司马赛虎获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利pH检测装置和湿法刻蚀系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223598682U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520281209.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型pH检测装置和湿法刻蚀系统是由马赛虎;张艳;罗贤福;程有喜设计研发完成，并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本pH检测装置和湿法刻蚀系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种pH检测装置和湿法刻蚀系统。pH检测装置包括：安装组件，用于安装在目标检测管路中，安装组件具有容纳腔，安装组件包括与容纳腔连通的液体入口和液体出口；pH检测模块，通过填充物支承于容纳腔中；监控模块，与pH检测模块通信连接，用于获取pH检测模块测得的pH数据。通过这种方式，pH检测装置能够酸溶液中氢离子的浓度，进而判断是否有水进入酸溶液中，如此，无需停机拆卸腔室即可确定发生水泄漏的腔室。
本实用新型pH检测装置和湿法刻蚀系统在权利要求书中公布了：1.一种pH检测装置，其特征在于，所述pH检测装置包括： 安装组件，用于安装在目标检测管路中，所述安装组件具有容纳腔，所述安装组件包括与所述容纳腔连通的液体入口和液体出口； pH检测模块，通过填充物支承于所述容纳腔中； 监控模块，与所述pH检测模块通信连接，用于获取所述pH检测模块测得的pH数据。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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