无锡台飞精密制造有限公司张霁晨获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡台飞精密制造有限公司申请的专利一种在线式全自动半导体清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223598679U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422807220.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种在线式全自动半导体清洗设备是由张霁晨;张乾设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种在线式全自动半导体清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种在线式全自动半导体清洗设备，属于半导体清洗技术领域，其包括底座，所述底座的顶部固定安装有支撑架，所述支撑架的左侧固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有丝杆，所述丝杆的右侧延伸至支撑架的内腔，所述丝杆外侧的左侧螺接有移动块，所述移动块的底部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的底部固定安装有放置框，所述底座顶部的右侧固定安装有风干槽，所述风干槽的右侧固定安装有支撑板，支撑板的右侧固定安装有第二电机。本实用新型能够自动对半导体材料进行清洗，减少了工作人员的劳动量，提高了装置的清洗效率，也可以对清洗后的半导体进行快速风干，避免了需要工作人员手动擦拭，提高了装置的实用性。
本实用新型一种在线式全自动半导体清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种在线式全自动半导体清洗设备，包括底座1，其特征在于：所述底座1的顶部固定安装有支撑架2，所述支撑架2的左侧固定安装有第一电机3，所述第一电机3的输出端固定连接有丝杆4，所述丝杆4的右侧延伸至支撑架2的内腔，所述丝杆4外侧的左侧螺接有移动块5，所述移动块5的底部固定安装有电动推杆6，所述电动推杆6的底部固定安装有放置框7，所述底座1顶部的右侧固定安装有风干槽10，所述风干槽10的右侧固定安装有支撑板13，所述支撑板13的右侧固定安装有第二电机14，所述第二电机14的输出端延伸至支撑板13的内部并固定连接有半齿轮15，所述支撑板13的内腔设置有移动框16，所述移动框16内腔的顶部和底部均固定安装有与半齿轮15相啮合的齿板17，所述移动框16的左侧固定安装有风干风扇19。
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