江苏腾烁电子材料有限公司张建平获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏腾烁电子材料有限公司申请的专利一种晶圆表面除胶装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223598678U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422796367.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆表面除胶装置是由张建平;李文明;何萍设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆表面除胶装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆表面除胶装置，包括安装箱和设置在安装箱下端的驱动电机，所述驱动电机的输出端连接有传动轴，所述传动轴上活动设置有用于固定和加热晶圆的离心托盘，所述传动轴和离心托盘之间设置有连接组件，所述安装箱内设置有用于提高离心效率的振动机构；本实用新型结构简单，设计合理，实现了晶圆在离心除胶的过程中同步高频振动的效果，在振动作用下，融化的胶点与晶圆表面的粘接力得以减弱，同样的离心力下更容易被甩出，显著提高了晶圆离心除胶的效率和除胶效果，同时使传动轴实现了对震动中的离心托盘的有效动力输出，并且在离心托盘出现倾斜的情况下依旧可以保证传动效果，进一步提高了晶圆的除胶效率。
本实用新型一种晶圆表面除胶装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面除胶装置，包括安装箱1和设置在安装箱1下端的驱动电机2，其特征在于：所述驱动电机2的输出端连接有传动轴3，所述传动轴3上活动设置有用于固定和加热晶圆的离心托盘4，所述传动轴3和离心托盘4之间设置有连接组件5，所述安装箱1内设置有用于提高离心效率的振动机构6； 所述振动机构6包括有： 主动锥齿轮601，所述主动锥齿轮601设置在传动轴3的下端位于安装箱1的内部，所述安装箱1的两侧对称设置有连接轴602，所述连接轴602相邻的一端均设置有与主动锥齿轮601相啮合的从动锥齿轮603，所述连接轴602的另一端设置有偏心轮604； 定位套605，所述定位套605对称设置在安装箱1的上端，所述定位套605的两侧通过贯穿开设竖槽活动设置有振动件606，所述振动件606的下端转动连接有驱动条607，所述驱动条607的另一端与偏心轮604的输出轴转动连接。
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