蓝河科技(绍兴)有限公司王东兴获国家专利权
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龙图腾网获悉蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利基座处理设备及半导体加工系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223598677U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422667814.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型基座处理设备及半导体加工系统是由王东兴;张伟设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本基座处理设备及半导体加工系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种基座处理设备和包含基座处理设备的半导体加工系统。基座处理设备包括主控装置、处理室和托运装置，托运装置通信连接主控装置以在主控装置控制下进入处理室内。托运装置设置的基座支撑装置包括若干位移机构呈放射状分布，每个位移机构顶部滑动设置支撑座，能够通过改变支撑座在位移机构上的位置，各支撑座顶面设置承载表面，并围成有能够通过面接触基座底面起到支撑作用的缓存区域，从而适用于承载不同尺寸的基座，在同一个基座支撑装置上实现对不同尺寸基座的承载能力，提高了利用率，不会产生因空载的基座支撑装置的缓存区域尺寸不合适而出现无法放置基座的情况，进而提高利用率。
本实用新型基座处理设备及半导体加工系统在权利要求书中公布了：1.一种基座处理设备，其特征在于，包括主控装置、处理室和托运装置； 所述托运装置通信连接所述主控装置，以在所述主控装置控制下进入所述处理室内； 所述托运装置设置有基座支撑装置，所述基座支撑装置包括若干位移机构和若干支撑座； 若干所述位移机构呈放射状分布，每个所述位移机构顶部滑动设置所述支撑座，各所述支撑座顶面包括承载表面，各所述承载表面围成能够通过面接触基座底面起到支撑作用的缓存区域； 还包括辅助支柱，所述辅助支柱设置在相邻所述位移机构之间，所述辅助支柱顶面不超出支撑座的承载表面； 沿同一周向排列的若干辅助支柱组成一辅助支柱组，同一所述辅助支柱组中的各所述辅助支柱高度一致。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人蓝河科技(绍兴)有限公司，其通讯地址为：311800 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道万旺路8号1号楼1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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