创微微电子(常州)有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网获悉创微微电子(常州)有限公司申请的专利一种压力清洗刷获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223598676U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422665724.X,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种压力清洗刷是由左国军;蔡嘉雄;黄海祥;王雷雷设计研发完成,并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压力清洗刷在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种压力清洗刷,包括:基座、下压装置、安装座、连接杆和驱动装置;所述安装座滑动安装在所述基座上,所述下压装置在所述基座上可带动安装座做升降运动;所述连接杆的一端贯穿所述安装座并与其转动连接,所述连接杆的另一端连接有刷头;位于所述安装座内的连接杆上套设有第一转动环;所述驱动装置安装在所述基座上,其输出端驱动所述第一转动环带动连接杆及刷头一同转动。这样下压装置便不会与连接杆直接接触以发生磨损,延长连接杆的使用寿命;且下压装置与连接杆之间不会发生因相互磨损产生微粒并掉落在待清洗的晶圆表面的情况,保证待清洗的晶圆表面清洗干净,洁净度高,不会对后续的清洗工艺造成不利影响。
本实用新型一种压力清洗刷在权利要求书中公布了:1.一种压力清洗刷,其特征在于,包括:基座10、下压装置11、安装座12、连接杆13、刷头14、驱动装置15和第一转动环16; 所述安装座12滑动安装在所述基座10上,所述下压装置11在所述基座10上可带动所述安装座12做升降运动; 所述连接杆13的一端贯穿所述安装座12并与所述安装座12转动连接,所述连接杆13的另一端连接有刷头14; 位于所述安装座12内的连接杆13上套设有第一转动环16; 所述驱动装置15安装在所述基座10上,其输出端驱动所述第一转动环16带动所述连接杆13及所述刷头14一同转动。
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