苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司赵裕兴获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司申请的专利贯穿式下影像晶圆切割装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223598675U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422650229.1,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型贯穿式下影像晶圆切割装置是由赵裕兴;王乾宝设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本贯穿式下影像晶圆切割装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种贯穿式下影像晶圆切割装置,包括平台基座,在平台基座上的左右两侧分别安装有左侧立柱和右侧立柱,在左侧立柱和右侧立柱之间的顶部安装有横梁,在横梁下方的平台基座上安装有晶圆切割载台。本实用新型提供了一种可对晶圆下表面进行轮廓获取的下影像机构,同时在框架台上设有光源和匀光版,能够对上面的影像进行补光。
本实用新型贯穿式下影像晶圆切割装置在权利要求书中公布了:1.贯穿式下影像晶圆切割装置,包括平台基座8,在所述平台基座8上的左右两侧分别安装有左侧立柱1和右侧立柱5,在所述左侧立柱1和右侧立柱5之间的顶部安装有横梁2,在所述横梁2下方的平台基座8上安装有晶圆切割载台3;其特征在于:在所述平台基座8上安装有Y向运动平台7,所述Y向运动平台7驱动上方的X向运动平台6在前后方向上移动,所述X向运动平台6驱动上方的晶圆切割载台3在左右方向上移动,在所述左侧立柱1和右侧立柱5之间安装有贯穿式下影像4,所述贯穿式下影像4沿着左右方向贯穿于晶圆切割载台3的内侧; 所述晶圆切割载台3包括载台框架301,所述载台框架301为中空的矩形框架结构,在所述载台框架301的顶部外侧安装有底座308,在所述底座308上从外至内依次安装有外侧载台305和中转载台303,在所述中转载台303正下方的底座308上安装有丝杆电机314,所述丝杆电机314顶部的驱动端驱动上方的中转载台303在竖直方向上移动。
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