杭州长川科技股份有限公司南彦东获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州长川科技股份有限公司申请的专利晶圆检测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223598674U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423162290.8，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型晶圆检测系统是由南彦东;徐开涛;姚建强;王华彬;黄相魁设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆检测系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体公开了一种晶圆检测系统，该晶圆检测系统包括基座、吸盘、成像装置和隔热组件。其中，吸盘设于基座的顶部，吸盘用于承载晶圆并能将发热件的热量传递至晶圆；成像装置设于基座的侧部，且位于吸盘的一侧；隔热组件设于基座的侧部，且位于成像装置和吸盘之间，隔热组件与成像装置间隔布置。本实用新型中的隔热组件能有效隔挡吸盘辐射出的热量，另外，隔热组件与成像装置间隔布置也能充分利用二者之间的空气进一步降低热量辐射的速率，从而降低成像装置内的各器件的温度，改善膨胀的程度，有利于保证光线传播路径的精度，确保定位精度。
本实用新型晶圆检测系统在权利要求书中公布了：1.晶圆检测系统，其特征在于，包括： 基座100； 吸盘200，所述吸盘200设于所述基座100的顶部，所述吸盘200用于承载晶圆并能将发热件的热量传递至所述晶圆； 成像装置300，设于所述基座100面向所述吸盘200的一侧，且位于所述吸盘200的一侧； 隔热组件400，所述隔热组件400设于所述基座100面向所述吸盘200的一侧，且位于所述成像装置300和所述吸盘200之间，所述隔热组件400与所述成像装置300间隔布置。
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