吉林瑞能半导体有限公司段旭来获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林瑞能半导体有限公司申请的专利晶圆检查装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223598673U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422979891.1，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型晶圆检查装置是由段旭来;赵凯设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆检查装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆检查装置，用于目检片筐内的多片晶圆，包括承载座及晶圆固定部，晶圆固定部固定设置于承载座的表面，晶圆固定部包括固定面，且固定面上沿第二方向间隔设置有晶圆槽，晶圆槽在固定面上还沿第一方向间隔设置，以使嵌入晶圆槽内的晶圆沿第一方向错开，第一方向与第二方向相交。本申请实施例提供的晶圆检查装置，通过晶圆固定部上设置于固定面上的晶圆槽不仅沿第二方向间隔设置，适应不同片筐的片间距以实现顺利倒片的同时，还沿第一方向间隔设置，使得嵌入晶圆槽内的晶圆能够沿第一方向错开，实现对堆叠的多片晶圆的同时检查，不直接接触晶圆且提升了检查效率，劳动强度低。
本实用新型晶圆检查装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检查装置，用于目检片筐内的多片晶圆，其特征在于，包括承载座及晶圆固定部，所述晶圆固定部固定设置于所述承载座的表面，所述晶圆固定部包括固定面，且所述固定面上沿第二方向间隔设置有晶圆槽，所述晶圆槽在所述固定面上还沿第一方向间隔设置，以使嵌入所述晶圆槽内的所述晶圆沿所述第一方向错开，所述第一方向与所述第二方向相交。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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