江苏普诺威电子股份有限公司王琦获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏普诺威电子股份有限公司申请的专利晶圆化镀加工用的接料治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223598670U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423019642.4,技术领域涉及:H01L21/288;该实用新型晶圆化镀加工用的接料治具是由王琦;汪升;马洪伟设计研发完成,并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆化镀加工用的接料治具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆化镀加工用的接料治具,包括框架、两组接料单元和保护结构,两组接料单元均设有多个分别为竖向的弧形槽体结构并沿第一水平方向间隔排列的接料槽,两组接料单元中的多个接料槽沿第二水平方向呈镜像对称的设置于框架上,且呈镜像对称设置的任意两个接料槽配合组成接料槽组;保护结构设有多根沿第一水平方向延伸的防护条,多根防护条沿第二水平方向间隔设置于框架上、以对卡制于接料槽组中的晶圆顶侧进行抵压限制;框架顶侧固设有用以挂设于传动装置上的挂钩。该接料治具既能有效避免晶圆边缘出现漏镀或薄镀、晶圆裂片和化镀不均匀等不良现象,提升了晶圆产品的良率;又结构精简、合理,集成性和功能性强,易于操作实施。
本实用新型晶圆化镀加工用的接料治具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆化镀加工用的接料治具,其特征在于:包括框架1、两组接料单元2和保护结构3,两组所述接料单元2均设有多个分别为竖向的弧形槽体结构并沿第一水平方向间隔排列的接料槽20,两组所述接料单元2中的多个所述接料槽20沿与所述第一水平方向相垂直的第二水平方向呈镜像对称的设置于所述框架1上,且两组所述接料单元2中并呈镜像对称设置的任意两个所述接料槽20还配合组成用于承接晶圆的接料槽组;所述保护结构3设有多根分别沿所述第一水平方向延伸的防护条30,多根所述防护条30沿所述第二水平方向间隔设置于所述框架1上、以对卡制于所述接料槽组中的晶圆顶侧进行抵压限制; 另外,所述框架1顶侧固定设置有用以挂设于化镀设备的传动装置上的挂钩4。
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