上海积塔半导体有限公司吴昌龙获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种光阻自动回收系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223598109U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520302215.2，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型一种光阻自动回收系统是由吴昌龙设计研发完成，并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光阻自动回收系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种光阻自动回收系统，包括：一容器，用于自第一氮气管路接收并存储光阻；一光阻存储中间箱，用于从容器接收光阻，并具有一从光阻存储中间箱排出的第一排放管；一过滤器，用于从光阻存储中间箱接收光阻，并具有一从过滤器排出的第二排放管；一光阻回收罐，用于接收光阻存储中间箱和或过滤器的光阻；一第二氮气管路，连接光阻回收罐；一第一三通阀，第一三通阀的第一端口连接第一排放管，第二端口连接第二排放管；一第二三通阀，第二三通阀的第一端口连接第六排放管，第二端口连接光阻回收罐，第三端口连接第一三通阀的第三端口。本实用新型能够回收利用被排出的光阻，提高光阻利用率，同时能降低生产成本。
本实用新型一种光阻自动回收系统在权利要求书中公布了：1.一种光阻自动回收系统，其特征在于，包括： 一容器2，用于自第一氮气管路38接收并存储光阻； 一光阻存储中间箱4，用于从所述容器2接收光阻，并具有一从所述光阻存储中间箱4排出的第一排放管6； 一过滤器8，用于从所述光阻存储中间箱4接收光阻，并具有一从所述过滤器排出的第二排放管10； 一光阻回收罐35，用于接收所述光阻存储中间箱4和或过滤器8的光阻； 一第二氮气管路39，连接所述光阻回收罐35； 一第一三通阀36，所述第一三通阀36的第一端口连接第一排放管6，第二端口连接所述第二排放管10；以及 一第二三通阀37，所述第二三通阀37的第一端口连接第六排放管40，第二端口连接光阻回收罐35，第三端口连接所述第一三通阀36的第三端口。
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