珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司薛佳豪获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司申请的专利具有背印改善组件的涂胶显影机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223598107U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423074547.4，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型具有背印改善组件的涂胶显影机是由薛佳豪;殷瑞腾;周雪松;刘贤杰;杨方设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有背印改善组件的涂胶显影机在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种具有背印改善组件的涂胶显影机，包括：主控模块、具有显影腔的机台、及设置于所述显影腔内的晶圆承载组件、显影液组件，还包括清洗组件、供氮组件及监测背承载晶圆平坦度的平坦度监测组件；本实用新型通过在显影腔内增设供氮组件和清洗组件，并将供氮孔位和冲洗孔位设置在晶圆承载组件上，从而在涂胶显影机集成了供氮功能和晶圆背清洗功能，大大提升了晶圆显影时背印的清洗效率；此外，通过加装平坦度监测组件，监测晶圆承载组件上承载的晶圆的平坦度信息，进而通过主控模块根据平坦度信息，灵活控制供氮组件和清洗组件的供应量，适应性更好。
本实用新型具有背印改善组件的涂胶显影机在权利要求书中公布了：1.一种具有背印改善组件的涂胶显影机，包括：具有显影腔的机台、显影腔内设置的晶圆承载组件和显影液组件、及与晶圆承载组件和显影液组件电连接的主控模块；其特征在于，还包括： 清洗组件，具有设置于所述晶圆承载组件上并朝向被承载晶圆背面的冲洗孔位； 供氮组件，具有设置于所述晶圆承载组件上并朝向所述被承载晶圆背面的供氮孔位； 平坦度监测组件，设置于所述晶圆承载组件上方并朝向所述被承载晶圆的侧面，用于监测所述被承载晶圆的平坦度信息， 所述主控模块与清洗组件、供氮组件电连接，接收所述平坦度信息、并发送控制指令至所述清洗组件和供氮组件。
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