中仪英斯泰克进出口有限公司吴永波获国家专利权
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龙图腾网获悉中仪英斯泰克进出口有限公司申请的专利曝光机载台表面检测机构及曝光机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223598105U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423184392.X,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型曝光机载台表面检测机构及曝光机是由吴永波;赵雪彤设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光机载台表面检测机构及曝光机在说明书摘要公布了:本实用新型涉及曝光机领域,具体涉及一种曝光机载台表面检测机构及曝光机。曝光机载台表面检测机构包括四个检测组件;其中,在所述载台处于零位时,四个检测组件分布于曝光机的载台四个角部的上方;所述检测组件用于在所述载台移动的过程中扫描检测所述载台表面;四个检测组件的扫描覆盖区域拼接后完全覆盖所述载台。本实用新型通过四个检测组件检测区域的拼接,实现对载台的全面、自动检测,避免人工检测带来的误差和不确定性,同时降低尘埃污染风险。
本实用新型曝光机载台表面检测机构及曝光机在权利要求书中公布了:1.一种曝光机载台表面检测机构,其特征在于, 包括四个检测组件100;其中, 在所述载台200处于零位时,四个检测组件100分布于曝光机的载台200四个角部的上方; 所述检测组件100用于在所述载台200移动的过程中扫描检测所述载台200表面; 四个检测组件100的扫描覆盖区域拼接后完全覆盖所述载台200。
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