苏州天准科技股份有限公司包哲人获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州天准科技股份有限公司申请的专利一种曝光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223598103U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422689041.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种曝光装置是由包哲人;祝锁;魏亚菲;温延培设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种曝光装置,属于光刻及标定领域，曝光装置的曝光站包括移动载台、曝光头、多个标定板、上相机组件、下相机组件；标定板设置在移动载台的外周处；曝光头和上相机组件设置在移动载台的上方，下相机组件设置在移动载台的下方并可在平面及Z向可控的移动。本申请采用设有标定mark部和透明曝光mark部的标定板替代传统的BLED打点对准，提高了标定精度，同时设定了校正，尤其适应于内层的精确对准，便于在PCB、晶片等需要对准的半导体检测或加工领域推广应用。
本实用新型一种曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种曝光装置，包括上料站、曝光站、翻转模组和下料站，其特征在于：曝光站包括移动载台1、曝光头、多个标定板2、上相机组件3、下相机组件4； 多个所述标定板2设置在所述移动载台1的外周处；曝光头和上相机组件3设置在移动载台1的上方；多个下相机组件4设置在移动载台1的下方并可在平面及Z向可控的移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州天准科技股份有限公司，其通讯地址为：215153 江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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