珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司刘贤杰获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司申请的专利一种涂胶显影机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223598102U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423229936.X,技术领域涉及:G03F7/16;该实用新型一种涂胶显影机是由刘贤杰;周雪松;薛佳豪;殷瑞腾;杨方设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶显影机在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种涂胶显影机,包括电性连接的涂胶单元、显影单元及控制单元,所述显影单元包括供液罐,所述供液罐内部中空、并安装有可伸缩内囊,所述可伸缩内囊底部设置有与显影液供液管路连通的进液口,顶部设置有与显影液喷嘴端连通的出液口;所述供液罐与可伸缩内囊之间的空腔内填充有气体,且所述供液罐的罐壁上设置有与所述供液罐内部连通的供气管路;可以实现在非接触的情况下,通过气体加压实现显影液的供应,避免加压供液过程中显影液溶入气体的情况出现,防止晶圆因此而出现小黑点等不良现象,提高良品率,提升生产质量。
本实用新型一种涂胶显影机在权利要求书中公布了:1.一种涂胶显影机,包括电性连接的涂胶单元1、显影单元2及控制单元3,其特征在于,所述显影单元2包括供液罐21,所述供液罐21内部中空、并安装有可伸缩内囊22,所述可伸缩内囊22底部设置有与显影液供液管路23连通的进液口,顶部设置有与显影液喷嘴端24连通的出液口;所述供液罐21与可伸缩内囊22之间的空腔内填充有气体,且所述供液罐21的罐壁上设置有与所述供液罐21内部连通的供气管路25。
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