天津金海通半导体设备股份有限公司沈程获国家专利权
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龙图腾网获悉天津金海通半导体设备股份有限公司申请的专利一种冷媒式测试头获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223597825U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422912540.9,技术领域涉及:G01R31/28;该实用新型一种冷媒式测试头是由沈程;彭煜设计研发完成,并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种冷媒式测试头在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种冷媒式测试头,包括测试头主体、流道结构、冷媒管保温壳和测试治具结构;所述测试治具结构顶部安装测试头主体,测试头主体内部安装流道结构,流道结构一端位于测试头主体外部,且套接有冷媒管保温壳,测试头主体上方和测试治具结构下方均安装有测试组件。本实用新型有益效果:采用冷媒式降温实现大功率压制,干燥气帘可以对冷媒式测试头起到防结露的效果,本测试头的结构设置还对设备环境湿度无严格要求;且当冷媒泄露时会有压力监控报警,可及时提醒工作人员进行查看,且泄露不会对测试系统造成损伤,进一步提高本申请的实用性。
本实用新型一种冷媒式测试头在权利要求书中公布了:1.一种冷媒式测试头,其特征在于:包括测试头主体、流道结构、冷媒管保温壳和测试治具结构;所述测试治具结构顶部安装测试头主体,测试头主体内部安装流道结构,流道结构一端位于测试头主体外部,且套接有冷媒管保温壳,测试头主体上方和测试治具结构下方均安装有测试组件。
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