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龙图腾网获悉奥趋光电技术(杭州)有限公司申请的专利一种氮化铝衬底批量湿法腐蚀装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119786378B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411673400.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种氮化铝衬底批量湿法腐蚀装置及其方法是由王琦琨;雷丹;吴亮;尤忠伟;李晓;赵勇康;李想设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氮化铝衬底批量湿法腐蚀装置及其方法在说明书摘要公布了：本发明专利提供了一种氮化铝衬底批量湿法腐蚀装置及应用该装置进行衬底批量腐蚀清洗的方法。该装置包括衬底装载系统、加热系统和腐蚀清洗系统，分别实现批量化衬底装载、自动化加热、批量腐蚀清洗以及溶液回收功能。衬底装载系统中采用多孔位托盘可以同时装载多片衬底，实现批量腐蚀。加热系统可以加热衬底，使得衬底在开始腐蚀处理前达到一定温度，避免腐蚀初期熔融碱溶液与衬底存在较大温差导致衬底应力过大而开裂。腐蚀清洗系统的设计采用的循环使用设计，保证废液回收处理和回收再利用。本发明针对氮化铝衬底的批量化和自动化湿法腐蚀装置设计与工艺方法，提高腐蚀效率和效果，提高质检良率，适合工业化的批量衬底的缺陷腐蚀及缺陷检测。

本发明授权一种氮化铝衬底批量湿法腐蚀装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种氮化铝衬底批量湿法腐蚀装置，其特征在于：该装置包括衬底装载系统、衬底加热系统和腐蚀清洗系统，分别实现批量化衬底装载、自动化加热、衬底批量腐蚀、清洗以及溶液回收功能； 其中，衬底装载系统包括多孔位托盘、托盘盖、以及提手，所述多孔位托盘分布若干孔洞、和托盘盖上下叠放将所述氮化铝衬底夹持在各孔位中，所述托盘盖在与所述多孔位托盘上下对应的位置也一一对应的设置有通孔；在多孔位托盘的中心以及托盘盖与之对应的位置，设置有供所述提手穿过的定位孔；所述提手的末端设有凸起，用于将整个装载系统定位在所述加热系统上； 其中，腐蚀清洗系统包括，一上开口容器、与容器配套的容器盖、以及各腐蚀液和清洗液供给循环装置，且各腐蚀液、清洗液供给循环装置通过管道分别与所述容器相连；各腐蚀液、清洗液供给循环装置分别由溶液箱、控制腐蚀液及清洗液进出容器的阀门、回收箱以及连接管道构成；腐蚀液和清洗液分别存储在各溶液箱、通过阀门控制流入所述容器、在容器中完成衬底腐蚀或清洗后，分别通过阀门进入各回收箱、然后再次流回到各溶液箱，完成循环使用； 其中，衬底加热系统包括加热平台、导热板以及热电偶；所述加热平台置于所述容器的底壁下，所述导热板置于所述容器内的底部，所述热电偶的测温端伸入所述容器内，用于测量所述容器内特定点的温度； 其中，所述导热板上表面居中位置设置有一凹槽；工作时，将装配好氮化铝衬底的衬底装载系统通过其提手末端的凸起卡入导热板的凹槽内，确保整个托盘完全居中，且托盘底部与导热板贴合，所述加热平台的热量通过所述导热板传递至托盘上的衬底上。

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