国仪量子技术(合肥)股份有限公司杨驰获国家专利权
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龙图腾网获悉国仪量子技术(合肥)股份有限公司申请的专利基于电镜成像的离子泵测试系统、方法和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119758428B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411955156.5，技术领域涉及：G01T1/29；该发明授权基于电镜成像的离子泵测试系统、方法和存储介质是由杨驰;孙永静;姚一帆;曹峰;张伟;贺羽设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于电镜成像的离子泵测试系统、方法和存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于电镜成像的离子泵测试系统、方法和存储介质，其中，系统包括：样品室；电子枪；机械泵组，机械泵组包括机械泵和分子泵；分子筛吸气泵；多个离子泵组，每个离子泵组均包括至少一个标准离子泵和至少一个待测离子泵；真空度监测装置和束流监测装置。由此，改变分子筛吸气泵和多个离子泵组的接入方式，通过分子筛吸气泵将样品室与电子枪真空腔室抽真空至超高真空环境，以实现对真空度检测装置的校准，并确保测试过程中各项参数的一致性，以提高束流监测装置的监测结果准确性，从而，基于电子枪发射束流的束流参数表征离子泵的真空稳定性，且测试结果更客观与准确，实现对多个离子泵组的真空稳定性对比测试。
本发明授权基于电镜成像的离子泵测试系统、方法和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种基于电镜成像的离子泵测试系统，其特征在于，所述系统包括： 样品室，适于放置电镜成像样品； 电子枪，适于通过带电粒子束作用于所述电镜成像样品； 机械泵组，所述机械泵组包括机械泵和分子泵，适于将所述样品室与电子枪真空腔室抽真空至预备真空环境； 分子筛吸气泵，适于将所述样品室与所述电子枪真空腔室抽真空至超高真空环境，其中，所述超高真空环境的真空度大于所述预备真空环境的真空度； 多个离子泵组，每个离子泵组均包括至少一个标准离子泵和至少一个待测离子泵，适于进行离子泵的真空稳定性对比测试； 真空度监测装置，适于对所述样品室与所述电子枪真空腔室的真空度进行监测并显示； 束流监测装置，适于对所述电子枪的发射束流进行监测以获取束流参数，所述束流参数用于表征所述每个离子泵组的真空稳定性，以实现对至少一个离子泵的真空稳定性测试。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人国仪量子技术(合肥)股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期E2楼A区1-4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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