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龙图腾网获悉合肥欣奕华智能机器股份有限公司申请的专利一种多产品钙钛矿膜层真空蒸镀设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119710567B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510141921.8，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种多产品钙钛矿膜层真空蒸镀设备是由张海涛;曹景博;吕海波;郭嘉;张作军设计研发完成，并于2025-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多产品钙钛矿膜层真空蒸镀设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种多产品钙钛矿膜层真空蒸镀设备，其包括蒸镀室以及设置在蒸镀室内的线源和掩膜板，多个线源在蒸镀室底部并排间隔设置，且任意相邻两个线源之间均设置有一个挡板，各线源内形成多个间隔设置的用于放置蒸镀材料的腔室，各腔室均设置有用于通入惰性气体的进气孔；掩膜板上间隔设置有多个镂空区且多个所述镂空区分别与多个线源一一对应设置，各所述镂空区均间隔设置有多个开口，所述镂空区的多个开口分别与相应线源的多个腔室一一对应设置；所述多产品钙钛矿膜层真空蒸镀设备还包括惰性气源，其通过多个管道分别与多个进气孔连通，且各管道上均设置有电控流量阀。本发明能够在不破空的条件下完成一次实现不同材料不同膜厚的真空蒸镀。

本发明授权一种多产品钙钛矿膜层真空蒸镀设备在权利要求书中公布了：1.一种多产品钙钛矿膜层真空蒸镀设备，其包括蒸镀室10以及设置在蒸镀室10内的线源1和掩膜板2，其特征在于，线源1设置有多个且多个线源1在蒸镀室10底部并排间隔设置，且任意相邻两个线源1之间均设置有一个挡板3，各线源1内设置有若干个隔板4且隔板4的高度高于线源1的高度以在线源1内形成多个间隔设置的用于放置蒸镀材料的腔室5，各腔室5均设置有用于通入惰性气体的进气孔6； 掩膜板2上间隔设置有多个镂空区且多个所述镂空区分别与多个线源1一一对应设置，各所述镂空区均间隔设置有多个开口7，所述镂空区的多个开口7分别与相应线源1的多个腔室5一一对应设置； 所述多产品钙钛矿膜层真空蒸镀设备还包括惰性气源，其通过多个管道8分别与多个进气孔6连通，且各管道8上均设置有电控流量阀；各隔板4与线源1均采用可拆卸式连接；同一个线源1的各腔室5内放置相同的蒸镀材料，不同的线源1的腔室5内放置不同的蒸镀材料。

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