深圳市昇维旭技术有限公司王怀庆获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市昇维旭技术有限公司申请的专利炉管及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119673814B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411615163.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权炉管及其使用方法是由王怀庆;吴天力设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本炉管及其使用方法在说明书摘要公布了：一种炉管及其使用方法，炉管包括：处理晶圆的腔室；用于给所述腔室供气的常压进气装置和低压进气装置，所述常压进气装置和所述低压进气装置分别独立地与所述腔室连接；用于控制所述腔室内气压的常压压力控制装置和低压压力控制装置，所述常压压力控制装置和所述低压压力控制装置分别独立地控制所述腔室内的气压；位于所述腔室内部的与所述常压进气装置连接的常压喷气管，及位于所述腔室内部的与所述低压进气装置连接的低压喷气管。本申请通过一台炉管实现了对常压工艺处理和低压工艺处理的兼容。
本发明授权炉管及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种炉管，其特征在于，包括： 处理晶圆的腔室； 用于给所述腔室供气的常压进气装置和低压进气装置，所述常压进气装置和所述低压进气装置分别独立地与所述腔室连接； 用于控制所述腔室内气压的常压压力控制装置和低压压力控制装置，所述常压压力控制装置和所述低压压力控制装置分别独立地控制所述腔室内的气压； 位于所述腔室内部的与所述常压进气装置连接的常压喷气管，及位于所述腔室内部的与所述低压进气装置连接的低压喷气管； 其中，所述低压压力控制装置包括： 提供气体通道的第一主排气管，第一分支排气管和第二主排气管，所述第一主排气管的进气端连接所述腔室；所述第一分支排气管的进气端连接所述第一主排气管的排气端，所述第一分支排气管的排气端连接第二主排气管的进气端； 用于在所述腔室处于工艺状态时控制所述腔室内部气压的主阀，所述主阀设置在所述第一分支排气管上； 用于抽吸所述腔室内部气体的抽气泵，所述抽气泵的一端与所述第二主排气管的排气端连接，另一端与尾气处理装置连接。
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