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龙图腾网获悉合肥市纳诺半导体有限公司申请的专利一种晶圆检测散射光采集物镜及晶圆检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119620341B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411839378.0，技术领域涉及：G02B13/00；该发明授权一种晶圆检测散射光采集物镜及晶圆检测设备是由袁佳设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆检测散射光采集物镜及晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆检测散射光采集物镜，涉及光学成像技术领域。本发明应用于晶圆缺陷检测，散射光采集镜头从物平面到像平面沿其光轴方向依次包括第一镜组、第二镜组、第三镜组、第四镜组，共十二片透镜及一个孔径光阑，且十二片透镜及孔径光阑均同轴布设；所述第一镜组为折反式镜组，具有正光焦度，用于通过两次反射将物面成像到中间像面处。本发明提供的采集物镜数值孔径等于0.9，视场等于2.6mm，具有大视场、大数值孔径、小中心遮挡的特性，能够大大提高对缺陷的散射光的检测能力，且采用折反式方式校正色差，相对于一般的采用CaF2和熔石英组合的折射方式可以实现更宽的激光带宽。

本发明授权一种晶圆检测散射光采集物镜及晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测散射光采集物镜，应用于晶圆缺陷检测，其特征在于，散射光采集镜头从物平面到像平面沿其光轴方向依次包括第一镜组G1、第二镜组G2、第三镜组G3、第四镜组G4，共十二片透镜及一个孔径光阑8，且十二片透镜及孔径光阑8均同轴布设； 所述第一镜组G1为折反式镜组，具有正光焦度，用于通过两次反射将物面成像到中间像面处； 其中，第一镜组G1包括第一镜片1、第二镜片2及第三镜片3，第一镜片1为正透镜，第二镜片2为负透镜，第三镜片3为反射面，第三镜片3设置为凹面； 所述第二镜组G2包括四片透镜，具有正光焦度，用于把中间像准直为准平行光； 其中，第二镜组G2包括第四镜片4、第五镜片5、第六镜片6、第七镜片7，第四镜片4为负透镜，第五镜片5、第六镜片6、第七镜片7均为正透镜； 所述第三镜组G3包括三片透镜，具有负光焦度，用于调整准平行光线的入射高度； 其中，第三镜组G3包括第八镜片9、第九镜片10及第十镜片11，第八镜片9与第十镜片11为负透镜，第九镜片10为正透镜； 所述第四镜组G4包括两片透镜，具有正光焦度，用于对调整后的光线进行准直调整，将发散光线变为准直光线； 第四镜组G4包括第十一镜片12及第十二镜片13，第十一镜片12为负透镜，第十二镜片13为正透镜。

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