合肥欣奕华智能机器股份有限公司曹景博获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥欣奕华智能机器股份有限公司申请的专利一种基于改善膜厚均一性的线性蒸镀装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119615066B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311173383.8，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种基于改善膜厚均一性的线性蒸镀装置是由曹景博;任军;张燕斌;张训璐设计研发完成，并于2023-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于改善膜厚均一性的线性蒸镀装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于改善膜厚均一性的线性蒸镀装置，包括基板、基板传送导轨、挡板、点源和均匀改善机构，从上到下依次设置基板、基板传送导轨、挡板和点源，基板滑动设置于基板传送导轨上，挡板设置于基板传送导轨下方，均匀改善机构设置于挡板和点源之间并固定于挡板上；均匀改善机构包括移动组件和固定于移动组件上的异形块；移动组件可滑动设置于挡板上，异形块靠近点源设置；该线性蒸镀装置可以根据膜厚分布设计安装不同异形块，调节膜厚分布，改善大尺寸膜厚均一性，提高产品品质。
本发明授权一种基于改善膜厚均一性的线性蒸镀装置在权利要求书中公布了：1.一种基于改善膜厚均一性的线性蒸镀装置，其特征在于，包括基板1、基板传送导轨2、挡板3、点源4和均匀改善机构5，从上到下依次设置基板1、基板传送导轨2、挡板3和点源4，基板1滑动设置于基板传送导轨2上，挡板3设置于基板传送导轨2下方，均匀改善机构5设置于挡板3和点源4之间并固定于挡板3上； 所述均匀改善机构5包括移动组件51和固定于移动组件51上的异形块52；移动组件51可滑动设置于挡板3上，异形块52靠近点源4设置； 异形块52为弧形设计，点源4得到的蒸镀膜厚为波浪形，弧形对波浪形边缘遮挡。
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