广东海洋大学王晓伟获国家专利权
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龙图腾网获悉广东海洋大学申请的专利一种双锥形多气口式动态气体锁装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119575766B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411859396.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种双锥形多气口式动态气体锁装置是由王晓伟;张志军;尹凝霞;龙代娣;于珍珍设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双锥形多气口式动态气体锁装置在说明书摘要公布了：一种双锥形多气口式动态气体锁装置，首次提出了双锥形管道构型，管道中心光孔通道截面形状为双锥形，分为对流段和抑制段，连通在投影物镜腔室与硅片台腔室之间，对流段大口端朝向投影物镜腔室，对流段小口端与抑制段小口端相接形成窄喉口，抑制段大口端朝向硅片台腔室，管道壁上沿轴线方向设置多个进气口和吸气口，既可保证连续收缩的极紫外光在光孔通道内传输，又可确保由进气口引入的清洁气体能快速流入投影物镜腔室和硅片台腔室，有效提高极紫外光的透射率以及污染物的抑制效能。同时，通过在光孔通道的管道壁上设置多个吸气口，可将光孔通道内的裹挟有污染物的清洁气体迅速排出，从而使极紫外光的透射率以及污染物的抑制效能得到进一步提升。
本发明授权一种双锥形多气口式动态气体锁装置在权利要求书中公布了：1.一种双锥形多气口式动态气体锁装置，其特征在于：采用双锥形管道构型，管道中心的光孔通道的截面形状为双锥形，分为对流段和抑制段；所述对流段的大口端朝向投影物镜腔室并与之连通，对流段的小口端与抑制段的小口端相接形成窄喉口，抑制段的大口端朝向硅片台腔室并与之连通；在所述对流段的管道壁上沿轴线方向设置多排进气口和至少一排吸气口；在所述抑制段的管道壁上沿轴线方向设置多排吸气口和至少一排进气口。
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