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龙图腾网获悉江苏锐精光电研究院有限公司申请的专利一种用于物镜像质检测的光束扫描台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119556531B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411712133.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种用于物镜像质检测的光束扫描台是由陈刚设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于物镜像质检测的光束扫描台在说明书摘要公布了：本发明属于微电子实验辅助设备技术领域，具体为一种用于物镜像质检测的光束扫描台，由底座、支撑装置、光束导向装置和聚光筒调节装置组成；所述底座的顶部前侧开设有抽屉槽，所述抽屉槽内插接有掩模板，所述底座的顶部后侧安装有支撑装置，所述光束导向装置安装在支撑装置上，所述底座的后侧安装有聚光筒调节装置，且聚光筒调节装置位于光束导向装置的正下方；本方案提供一种简易且实用的物镜像质检测的光束扫描台，其具有模块化的结构，通过不同模块装置之间的安装配合可以组合呈完成的扫描台，并且能实现聚光镜的灵活切换，大大提高了实验过程中更换不同焦距聚光筒的效率，为获取多组对比数据提供了更高效的操作方式。

本发明授权一种用于物镜像质检测的光束扫描台在权利要求书中公布了：1.一种用于物镜像质检测的光束扫描台，由底座10、支撑装置20、光束导向装置30和聚光筒调节装置40组成，其特征在于： 所述底座10的顶部前侧开设有抽屉槽101，所述抽屉槽101内插接有掩模板102，所述底座101的顶部后侧安装有支撑装置20，所述光束导向装置30安装在支撑装置20上，所述底座10的后侧安装有聚光筒调节装置40，且聚光筒调节装置40位于光束导向装置30的正下方； 所述支撑装置20的主体为固定杆201，所述固定杆201的上部和下部分别套接有上位反光镜203和下位反光镜204，所述下位反光镜204反射光束至上位反光镜203处，所述反光镜203和下位反光镜204的后端均固定有连接杆206，所述连接杆206贯穿插接在固定杆201内，通过转动连接杆206可以调节上位反光镜203和下位反光镜204的朝向； 所述光束导向装置30由导向筒安装座301和导向筒303组成，所述导向筒安装座301套接在固定杆201上；所述导向筒安装座301的前端安装有导向筒303，所述导向筒303位于上位反光镜203的下方，且上位反光镜203将光束反射至导向筒303内； 所述聚光筒调节装置40由聚光筒安装架401、调节转轴402、若干个聚光筒403组成，所述聚光筒安装架401通过螺栓安装在底座10的右侧，所述聚光筒安装架401的顶部转动安装有调节转轴402、驱动转轴405； 所述调节转轴402的外侧环绕设置有若干个聚光筒403，最左侧的聚光筒403位于导向筒303的正下方，且上位反光镜203反射的光束穿过导向筒303后照射在聚光筒403内，所述聚光筒403内设置有聚光镜403-1，所述聚光筒403位于掩模板102的正上方，经聚光镜403-1聚光后的光束照射在掩模板102上。

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