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龙图腾网获悉常州比太科技有限公司申请的专利镀膜用进出料压力平衡方法以及应用该方法的镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119530749B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411719516.1，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权镀膜用进出料压力平衡方法以及应用该方法的镀膜设备是由李中清;陈斌;化冬明;庄正军;上官泉元设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本镀膜用进出料压力平衡方法以及应用该方法的镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明属于对金属材料的镀覆技术领域，具体涉及一种镀膜用进出料压力平衡方法以及应用该方法的镀膜设备，本镀膜用进出料压力平衡方法包括：步骤S1，将补偿管抽、进料平衡腔、出料平衡腔至真空状态；步骤S2，将装载腔后与补偿管平衡压力；步骤S3，使装载腔与真空状态的进料平衡腔平衡压力，随后将基板送入进料平衡腔；步骤S4，对装载腔进行气体回填，以及使进料平衡腔抽真空；步骤S5，使出料平衡腔与补偿管平衡压力；步骤S6，出料平衡腔与常压的卸载腔平衡压力，随后将镀膜基板送入卸载腔；步骤S7，对卸载腔进行气体回填，以及使出料平衡腔抽真空；步骤S8，循环步骤S2至步骤S7若干次；从而降低了回填气体量。

本发明授权镀膜用进出料压力平衡方法以及应用该方法的镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种镀膜用进出料压力平衡方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤S1，将补偿管2、进料平衡腔13、出料平衡腔14抽至真空状态； 步骤S2，将基板送入常压的装载腔12后，使装载腔12与补偿管2平衡压力； 步骤S3，使平衡压力后的装载腔12再次与真空状态的进料平衡腔13平衡压力，随后将基板送入进料平衡腔13； 步骤S4，对装载腔12进行气体回填以等待接收新的基板，以及使进料平衡腔13抽真空后将接收的基板送入工艺腔16镀膜； 步骤S5，将工艺腔16内的镀膜基板送入真空状态的出料平衡腔14后，使出料平衡腔14与补偿管2平衡压力； 步骤S6，使平衡压力后的出料平衡腔14再次与常压的卸载腔15平衡压力，随后将镀膜基板送入卸载腔15； 步骤S7，对卸载腔15进行气体回填以送出镀膜基板，以及使出料平衡腔14抽真空后等待接收新的镀膜基板； 步骤S8，循环步骤S2至步骤S7若干次，直至补偿管2压力稳定。

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