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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种光学元件真空环境传递装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119493341B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411593442.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光学元件真空环境传递装置及方法是由徐天伟;齐月静;齐威;马敬;武志鹏;孟璐璐设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光学元件真空环境传递装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光学元件真空环境传递装置及方法，其中光学元件真空环境传递装置包括光学元件保护盒、前端模块、负载锁定模块、受控环境模块和工艺腔模块，光学元件保护盒包括外盒和内盒，外盒包括外盒盖和外盒底板，内盒包括内盒盖和内盒底板；前端模块用于分离或扣合外盒盖和外盒底板；负载锁定模块用于分离或扣合内盒盖和内盒底板；前端模块和负载锁定模块分别与受控环境模块对接连通，受控环境模块用于通过受控环境机械手实现内盒在前端模块与负载锁定模块之间的传递；工艺腔模块与负载锁定模块对接连通，用于通过工艺腔机械手实现内盒底板在工艺腔模块与负载锁定模块之间的传递。本发明能够对光学元件的传递过程提供全流程的防护。

本发明授权一种光学元件真空环境传递装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种光学元件真空环境传递装置，其特征在于，包括： 光学元件保护盒，包括外盒以及设置于所述外盒内部的内盒，所述外盒包括可拆卸安装的外盒盖和外盒底板，所述内盒包括可拆卸安装的内盒盖和内盒底板，其中所述内盒盖为透气且可屏蔽颗粒的盒盖结构，光学元件装载于所述内盒底板上； 前端模块，用于分离或扣合所述外盒盖和所述外盒底板； 负载锁定模块，用于分离或扣合所述内盒盖和所述内盒底板； 受控环境模块，所述前端模块和所述负载锁定模块分别与所述受控环境模块对接连通，所述受控环境模块用于通过受控环境机械手实现所述内盒在所述前端模块与所述负载锁定模块之间的传递； 工艺腔模块，与所述负载锁定模块对接连通，所述工艺腔模块用于通过工艺腔机械手实现所述内盒底板在所述工艺腔模块与所述负载锁定模块之间的传递； 所述前端模块包括前端模块腔室，所述前端模块腔室的顶部设有外盒盖限位端口，所述外盒盖限位端口的尺寸大于所述外盒底板的尺寸且小于所述外盒盖的尺寸，所述外盒底板能够通过所述外盒盖限位端口进入所述前端模块腔室内； 在所述前端模块腔室的侧壁上设有内盒进出口，所述前端模块腔室通过所述内盒进出口与所述受控环境模块对接连通； 所述前端模块还包括升降杆，所述升降杆能够带动所述外盒底板在所述外盒盖限位端口与所述内盒进出口位置之间进行上下传递。

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