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龙图腾网获悉扬州奕丞科技有限公司申请的专利一种MEMS探针清洗工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119456541B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411574076.5，技术领域涉及：B08B3/08；该发明授权一种MEMS探针清洗工艺是由张京伟;熊烱声;赖生雄;张子仁设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS探针清洗工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了半导体探针领域内的一种MEMS探针清洗工艺，包含热式脱模、化腐除胶、电解抛光、电解脱脂、超声清洗等等。本发明可有效解决传统清洗技术遇到的产品表面粗糙度异常导致的产品物理、化学性能变化。在不破坏任何产品原始特性的情况下，解决了探针产品洁净问题，大大提升了产品的良率及性能稳定性。

本发明授权一种MEMS探针清洗工艺在权利要求书中公布了：1.一种MEMS探针清洗工艺，其特征在于，包括如下步骤： 1、先将质量浓度比为3%-5%的丙酮溶液加热至80℃-90℃，然后将下机后探针产品浸入该丙酮溶液中恒温加热3min-7min，使得探针与治具脱离，将探针取出； 2、将脱离治具的探针放入容器中，然后向容器中加入混合液一，加热至40℃-60℃，浸泡探针并超声波处理30min-50min；混合液一中含有质量浓度比为50%-70%的异丙醇、质量浓度比为5%-10%的二乙二醇、质量浓度比为4%-6%的羧酸，余量为水；混合液一能够去除探针产品表面的残胶； 3、除胶后探针纯水溢流5min-10min，洗净表面化学残留，然后将探针放入混合液二中，混合液二的温度加热至50℃-70℃，混合液二浸泡探针并超声波清洗20min-30min，洗净探针表面脏污及微粒；混合液二中含有质量浓度比为20%-40%的氢氧化钠，质量浓度比为15%-30%的酰胺，余量为水； 4、将表面洗净后的探针放入氢氧化钾溶液，并将探针作为阳极，施加阴极电压进行电解脱脂，脱脂时间10min-15min，去除探针边缘焦炭及油污； 5、将电解脱脂完后的探针放入氢氧化钠溶液中，并将探针作为阴极，施加阳极电压进行电解抛光，抛光时间20min-30min，去除探针边缘金属熔渣及表面金属凸起物； 6、重复进行步骤3； 7、接着将探针纯水溢流5min-10min，洗净表面化学残留，再放置烤箱中70℃-90℃烘干10min-15min； 8、最后探针烘干完成后，从烤箱中取出探针，清洗作业完成。

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