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龙图腾网获悉苏州苏净安发环境科技有限公司申请的专利一种用于晶圆膜厚检测实验室的自净化空调设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119436364B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411865301.0，技术领域涉及：F24F8/158；该发明授权一种用于晶圆膜厚检测实验室的自净化空调设备是由李睿设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆膜厚检测实验室的自净化空调设备在说明书摘要公布了：本发明涉及空气净化和精密仪器环境控制技术领域，提供了一种用于晶圆膜厚检测实验室的自净化空调设备，包括：依次上下设置的净化管道、底座，所述净化管道内依次安装有过滤网、无纺布过滤袋、冷凝器、活性炭过滤板一、电加热器以及风机，所述底座内设置有换料模块，所述净化管道外壁两侧设置有清理装置一，所述净化管道内且位于无纺布过滤袋处设置有清理装置二；本发明通过通过活性炭过滤板一可以过滤掉一些实验室产生的化学气体，提高净化的效果，通过换料模块可实现活性炭过滤板一的更换，延长了设备的使用时长；通过清理装置一对过滤网上灰尘进行清理；通过清理装置二对无纺布过滤袋进行清理，提高空调设备的自净化效果。

本发明授权一种用于晶圆膜厚检测实验室的自净化空调设备在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆膜厚检测实验室的自净化空调设备，包括：依次上下设置的净化管道1、底座2，其特征在于：所述净化管道1两端分别设置有进风口3和送风口4，所述净化管道1内依次安装有过滤网5、无纺布过滤袋6、冷凝器7、活性炭过滤板一8、电加热器9以及风机10，所述净化管道1底部与底座2之间开设有安装槽21，且所述底座2内设置有换料模块11，所述净化管道1外壁两侧设置有清理装置一12，所述清理装置一12位于进风口3与过滤网5之间，所述净化管道1内且位于无纺布过滤袋6处设置有清理装置二13； 所述换料模块11通过安装槽21对净化管道1内的活性炭过滤板一8进行更换； 所述换料模块11包括丝杆一111、电机一112以及电动推杆113，所述丝杆一111两端分别与底座2的顶部和底部转动连接，所述电机一112和电动推杆113安装在底座2内，所述电机一112通过齿轮驱动丝杆一111转动，所述丝杆一111上螺纹连接有抵块114，且所述抵块114与底座2内壁滑动连接，所述抵块114与安装槽21位于同一平面上，所述电动推杆113输出端固定连接有限位板115； 所述限位板115通过多个凸起卡接有多个密封板一116，多个所述密封板一116位于底座2远离送风口4的一侧，且所述密封板一116上边与底座2顶部贴合，所述密封板一116为匚形，且所述密封板一116内滑动连接有密封板二117，所述密封板二117为L形，所述密封板一116与密封板二117之间存放有活性炭过滤板二118，靠近安装槽21一个密封板二117与安装槽21位于同一平面上，且所述密封板二117宽度与安装槽21宽度相同。

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