买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉深圳市昇维旭技术有限公司申请的专利金属线和通孔布图的光学临近效应修正方法及相关设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119414652B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411266755.6，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权金属线和通孔布图的光学临近效应修正方法及相关设备是由任亚周;简永浩;马晨鑫;邹雪峰设计研发完成，并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本金属线和通孔布图的光学临近效应修正方法及相关设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种金属线和通孔布图的光学临近效应修正方法及相关设备，该方法包括：获取原始金属线和通孔布图，在互连金属线所在层的平面内与互连金属线的延伸方向相垂直的方向为宽度方向，金属线图层中与互连金属线在宽度方向上相邻的金属线为影响金属线，影响金属线包括影响金属线段，影响金属线段为连接通孔沿宽度方向在影响金属线上的投影区域线段；对每个连接通孔在宽度方向进行扩孔处理形成扩大连接通孔；对每段影响金属线段在宽度方向上沿远离互连金属线的方向平移一定距离，形成预处理金属线和通孔布图；对预处理金属线和通孔布图进行光学临近修正，得到修正金属线和通孔布图，从而能够增大光刻工艺窗口，并使金属线不易出现桥接等缺陷。

本发明授权金属线和通孔布图的光学临近效应修正方法及相关设备在权利要求书中公布了：1.一种金属线和通孔布图的光学临近效应修正方法，其特征在于，包括： 获取原始金属线和通孔布图，所述原始金属线和通孔布图包括至少两层金属线图层以及连接分别位于不同层中的金属线的方形通孔图层，所述金属线图层中包括互连金属线，所述互连金属线与连接通孔连接；在所述互连金属线所在层的平面内，与所述互连金属线的延伸方向相垂直的方向为宽度方向，所述连接通孔在水平面上的投影在所述互连金属线在水平面上的投影内，且所述连接通孔在所述宽度方向上的尺寸等于所述互连金属线的宽度；所述金属线图层中与所述互连金属线在所述宽度方向上相邻的金属线为影响金属线，所述影响金属线包括影响金属线段，所述影响金属线段为所述连接通孔沿所述宽度方向在所述影响金属线上的投影区域线段； 对每个所述连接通孔在所述宽度方向进行扩孔处理形成扩大连接通孔，使所述扩大连接通孔在所述宽度方向上的尺寸大于所述互连金属线的宽度，且在所述延伸方向上的尺寸保持不变；所述连接通孔在所述宽度方向上的尺寸扩大量根据当前的光刻工艺窗口确定； 对每段所述影响金属线段在所述宽度方向上沿远离所述互连金属线的方向平移一定距离，移动距离等于所述连接通孔在所述宽度方向上的尺寸扩大量，形成预处理金属线和通孔布图； 对所述预处理金属线和通孔布图进行光学临近修正，得到修正金属线和通孔布图。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市昇维旭技术有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙岗区平湖街道辅城坳社区新源三巷1号B栋104；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。