香港科技大学(广州)汪馨蕾获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利光刻设备操作控制方法、装置、存储介质及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119335825B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411847801.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻设备操作控制方法、装置、存储介质及设备是由汪馨蕾;覃检兰;冯雪蒙;王呢娜;曾祥军;徐巍设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻设备操作控制方法、装置、存储介质及设备在说明书摘要公布了：本发明提供光刻设备操作控制方法、装置、存储介质及设备，包括：获取用户端发送的光刻任务，所述光刻任务包括需操作的衬底参数和工艺参数；将所述光刻任务中衬底参数与预设的衬底参数阈值比较、所述光刻任务中工艺参数与预设的工艺参数阈值比较；若所述衬底参数满足衬底参数阈值、并且工艺参数满足工艺参数阈值，向光刻设备发送设备内实时状态参数获取指令；获取光刻设备发送的设备内实时状态参数；若所述设备内实时状态参数与光刻任务的需操作的衬底参数相匹配，根据所述光刻任务生成若干条光刻设备操作指令，并将所述光刻设备操作指令按设定顺序发送至光刻设备，使所述光刻设备根据所述光刻设备操作指令对设备内衬底进行第一阶段加工。
本发明授权光刻设备操作控制方法、装置、存储介质及设备在权利要求书中公布了：1.一种光刻设备操作控制方法，其特征在于，包括： 获取用户端发送的光刻任务，所述光刻任务包括需操作的衬底参数和工艺参数； 将所述光刻任务中衬底参数与预设的衬底参数阈值比较、所述光刻任务中工艺参数与预设的工艺参数阈值比较； 若所述衬底参数满足衬底参数阈值、并且工艺参数满足工艺参数阈值，向光刻设备发送设备内实时状态参数获取指令； 获取光刻设备发送的设备内实时状态参数； 若所述设备内实时状态参数与光刻任务的需操作的衬底参数相匹配，根据所述光刻任务生成若干条光刻设备操作指令，并将所述光刻设备操作指令按设定顺序发送至光刻设备，使所述光刻设备根据所述光刻设备操作指令对设备内衬底进行第一阶段加工。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人香港科技大学(广州)，其通讯地址为：511453 广东省广州市南沙区笃学路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励