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北京信息科技大学;广州市南沙区北科光子感知技术研究院祝连庆获国家专利权

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龙图腾网获悉北京信息科技大学;广州市南沙区北科光子感知技术研究院申请的专利一种基于MBE生长二类超晶格红外探测器的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119317198B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411429666.9,技术领域涉及:H10F30/21;该发明授权一种基于MBE生长二类超晶格红外探测器的方法是由祝连庆;杨继兴;鹿利单;陈伟强;董明利;何彦霖设计研发完成,并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于MBE生长二类超晶格红外探测器的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体器件设计及制造领域,公开了一种基于MBE生长二类超晶格红外探测器的方法,包括:半导体衬底;缓冲层:设置在半导体衬底上方;N型下电极接触层:位于缓冲层上方;中波红外吸收层:位于N型下电极接触层上方;电子势垒层:位于中波红外吸收层上方;短波红外吸收层:位于电子势垒层上方;N型上电极接触层:位于短波红外吸收层上方;Cap层:位于N型上电极接触层上方;电极层:上电极位于所述Cap层上方;下电极与N型下电极接触层相接;钝化层:覆盖在探测器的侧壁。通过采用电子势垒层来分隔不同的吸收层,减少了不同波段之间的串音效应,从而降低了探测器在复杂环境下的虚警率,这一特性使得探测器在高干扰环境下仍能保持高精度。

本发明授权一种基于MBE生长二类超晶格红外探测器的方法在权利要求书中公布了:1.一种基于MBE生长二类超晶格红外探测器,其特征在于,包括: 半导体衬底1:半导体衬底1为GaSb材料; 缓冲层2:设置在半导体衬底1上方,为GaSb材料; N型下电极接触层3:位于缓冲层2上方,N型下电极接触层3为InAsGaSb超晶格结构,经过掺杂处理形成N型导电层; 中波红外吸收层4:位于N型下电极接触层3上方,中波红外吸收层4为InAsGaSb超晶格结构; 电子势垒层5:位于中波红外吸收层4上方,电子势垒层5为AlGaAs材料; 短波红外吸收层6:位于电子势垒层5上方,短波红外吸收层6为InAsGaSb超晶格结构,未掺杂; N型上电极接触层7:位于短波红外吸收层6上方,N型上电极接触层7为InAsGaSb超晶格结构,经过掺杂处理形成N型导电层; Cap层8:位于N型上电极接触层7上方,Cap层8为InAs材料,经过掺杂处理形成上电极的欧姆接触层; 电极层9:上电极:位于所述Cap层8上方,由TiAu合金制成;下电极:与N型下电极接触层3相接,由TiAu合金制成; 钝化层10:覆盖在探测器的侧壁,钝化材料为二氧化硅和氧化铝。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京信息科技大学;广州市南沙区北科光子感知技术研究院,其通讯地址为:100085 北京市海淀区清河小营东路12号北京信息科技大学光电学院;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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