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龙图腾网获悉深圳市信维通信股份有限公司申请的专利一种线宽调整方法和导电材料获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119297085B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411222001.0，技术领域涉及：H01L21/3213；该发明授权一种线宽调整方法和导电材料是由刘洁;王钦;虞成城设计研发完成，并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种线宽调整方法和导电材料在说明书摘要公布了：本申请属于半导体制造技术领域，涉及了一种线宽调整方法和导电材料。通过对第一基材进行加工处理，得到第一线路图案；对所述第一线路图案进行测量处理，得到第一线宽分布图；对所述第一线宽分布图进行线宽均匀性检验，若所述线宽均匀性不满足预设范围，则执行循环过程直至满足预设条件，所述循环过程包括：对所述喷嘴的高度进行区域性调整；根据调整后的所述喷嘴的高度，对第二基材进行所述加工处理，得到第二线路图案；对所述第二线路图案进行所述测量处理，得到第二线宽分布图；对所述第二线宽分布图进行所述线宽均匀性检验。通过精准控制不同区域的蚀刻效果，以使导电材料的线路的线宽均匀一致，从而有利于高精度电子器件的制作。

本发明授权一种线宽调整方法和导电材料在权利要求书中公布了：1.一种线宽调整方法，应用于蚀刻机，所述蚀刻机包括喷嘴，其特征在于，所述方法包括： 对第一基材进行加工处理，得到第一线路图案； 对所述第一线路图案进行测量处理，得到第一线宽分布图； 对所述第一线宽分布图进行线宽均匀性检验，若所述线宽均匀性不满足预设范围，则执行循环过程直至满足预设条件，所述循环过程包括： 对所述喷嘴的高度进行区域性调整； 根据调整后的所述喷嘴的高度，对第二基材进行所述加工处理，得到第二线路图案； 对所述第二线路图案进行所述测量处理，得到第二线宽分布图； 对所述第二线宽分布图进行所述线宽均匀性检验； 其中，所述预设条件为所述线宽均匀性满足所述预设范围，所述第一基材和所述第二基材为同一类型的基材； 其中，所述对所述第一线宽分布图进行线宽均匀性检验包括： 根据所述第一线宽分布图，进行极差计算，得到极差； 根据所述第一线宽分布图，进行平均线宽计算，得到平均线宽； 根据所述平均线宽和所述第一线宽分布图，进行标准偏差计算，得到标准偏差； 将所述标准偏差、所述极差与所述预设范围进行比较，判断所述标准偏差和所述极差是否满足所述预设范围； 其中，所述预设范围包括：所述标准偏差小于预设线宽的5%至10%，所述极差小于所述预设线宽的10%至15%。

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