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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种再生晶圆高效清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119275133B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411383118.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种再生晶圆高效清洗设备是由王刚;冯校亮;邵毅设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种再生晶圆高效清洗设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种再生晶圆高效清洗设备，本发明涉及晶圆清洗技术领域，包括第一承载主体，所述第一承载主体内部转动连接有第二承载主体,第二承载主体可拆卸连接有多个用于容纳晶圆的片盒，所述片盒与第二承载主体之间安装有锁紧装置，所述第二承载主体上端固定有两条条形限位凸起，所述条形限位凸起内侧开有条形限位槽；所述片盒包括两个对称布置的限位主体，所述限位主体下端开有两条与两个条形限位凸起相适配的限位开口，两个所述限位开口之间安装有可伸缩的液压锁紧装置，所述液压锁紧装置包括两个可伸出的液压锁紧末端，所述液压锁紧末端的末端与条形限位槽相适配。该发明简化了片盒安装拆卸的过程，提高了晶圆集中清洁的效率。

本发明授权一种再生晶圆高效清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种再生晶圆高效清洗设备，包括第一承载主体100，所述第一承载主体100内部转动连接有第二承载主体200,第二承载主体200可拆卸连接有多个用于容纳晶圆800的片盒300，所述片盒300与第二承载主体200之间安装有锁紧装置，其特征在于： 所述第二承载主体200上端固定有两条条形限位凸起210，所述条形限位凸起210内侧开有条形限位槽211；所述片盒300包括两个对称布置的限位主体320，所述限位主体320下端开有与两条条形限位凸起210相适配的两个限位开口321，两个所述限位开口321之间安装有可伸缩的液压锁紧装置500，所述液压锁紧装置500包括两个可伸出的液压锁紧末端530，所述液压锁紧末端530的末端与条形限位槽211相适配，两个所述液压锁紧末端530之间安装有弹性元件540，通过所述弹性元件540控制两个液压锁紧末端530常态处于伸出状态； 所述限位主体320外侧安装有与液压锁紧装置500连通的液压触控装置400，抓持限位主体320时挤压液压触控装置400将液压触控装置400内的控制油液挤入液压锁紧装置500内控制两个液压锁紧末端530收缩； 所述液压锁紧装置500包括液压锁紧底座510，所述液压锁紧底座510内部形成有安装腔室，所述安装腔室内壁密封滑动连接有两个安装活塞520，所述液压锁紧末端530安装于对应的安装活塞520外侧，所述安装活塞520末端贯穿液压锁紧底座510并且与之密封滑动连接，所述安装活塞520外侧形成有控制腔室5201，所述液压触控装置400与控制腔室5201连通； 所述液压触控装置400包括液压触控底座410以及液压触控末端420，所述液压触控底座410和液压触控末端420之间形成有容纳控制油液的容纳腔室，所述容纳腔室与控制腔室5201连通。

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