科磊股份有限公司Y·弗莱获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利马赛克叠对目标获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119234187B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380041603.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权马赛克叠对目标是由Y·弗莱设计研发完成，并于2023-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本马赛克叠对目标在说明书摘要公布了：一种马赛克叠对目标可包含跨样本分布的两个或更多个单元组，其中每一单元组包含一或多个单元，其中每一单元组经定向以具有相对于所述马赛克叠对目标的中心轴的镜像对称性或相对于所述马赛克叠对目标的中心点的旋转对称性中的至少一者。所述单元组可根据度量衡配方配置，使得基于所述度量衡配方产生的所述马赛克叠对目标的图像包含适合于两个或更多个叠对测量的度量衡数据。所述叠对测量中的特定者可基于与所述单元组中的至少一者相关联的所述图像的部分。所述两个或更多个叠对测量中的至少两者可为所述样本的共同性质的替代测量。
本发明授权马赛克叠对目标在权利要求书中公布了：1.一种马赛克叠对目标，其包括： 两个或更多个单元组，其跨样本分布，其中每一单元组包含一或多个单元，其中每一单元组经定向以具有相对于所述马赛克叠对目标的中心轴的镜像对称性或相对于所述马赛克叠对目标的中心点的旋转对称性中的至少一者， 其中所述两个或更多个单元组是根据度量衡配方配置，使得根据所述度量衡配方产生的所述马赛克叠对目标的一或多个图像包含适合于两个或更多个叠对测量的度量衡数据，其中所述两个或更多个叠对测量中的特定者是基于与所述两个或更多个单元组中的至少一者相关联的所述一或多个图像的部分， 其中所述两个或更多个叠对测量中的至少两者是所述样本的共同性质的替代测量，其中所述两个或更多个单元组中的至少两者是根据所述度量衡配方配置以提供与所述替代测量相关联的所述度量衡数据的替代部分。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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